08.12.2014

Японская революция в микроэлектронике

Компания MinimalFab, конечно, из Японии, демонстрирует на выставке Semicon Japan 2014 линию, переворачивающую наши представления о производстве чипов. Вместо огромных чистых комнат и оборудования мегаразмеров предлагаются минифабы для производства отдельных чипов размером полдюйма.

Компания как стартап была организована четыре года назад. Прямо на выставке они за два дня без всяких чистых комнат развернули линию из 25 отдельных установок и сегодня в течение дня демонстрируют полный цикл создания К-МОП транзисторной структуры. Линия включает в себя все стандартные процессы: от нанесения фоторезистов, через фотолитографию и ионную имплантацию, до контроля функционирования. Кристаллы помещены в специальные вакуумноизолированные мини-контейнеры, что в итоге не требует специальных чистых комнат. Сейчас технология освоена для размеров 0,8 мкм, через два года ожидается, что это будет уже 22 нм.

Небольшая производительность, мультитехнологичность, минимальная стоимость чипа (ориентировочная стоимость всего комплекта оборудования из 55 установок - 5 млн $), отсутствие чистых комнат и громадных затрат с этим связанных - как раз то, что нужно российскому рынку сегодня, да и завтра!

Анатолий Ковалёв

Источники:

1. zelenograd.ru